(주)라인텍

대전 유성구에 자리 잡은 라인텍은 반도체와 디스플레이 공정 등에서 사용하는 질량유량 제어기(MFC)와 측정기(MFM)를 전문으로 제조합니다. 이 장비들은 공정 내 가스 유량을 정밀하게 측정하고 제어하여 안정적인 생산 환경을 유지하는 역할을 합니다. 스테인리스강(SUS)을 주재료로 사용하여 정밀 가공과 조립 공정을 거쳐 제품을 생산합니다. 2015년부터 운영 중인 공장의 제조 시설 면적은 322.8㎡ 규모입니다. 이 회사가 만드는 것 가운데 진공·챔버·세정 품목은 전국에 313곳, 대전 유성구에 12곳 있습니다. 반도체와 디스플레이 공정뿐만 아니라 연료전지, 바이오 산업 현장에 공급됩니다. 공정 내 도펀트와 전구체 가스를 정밀하게 공급하고, 수소 반응 가스 유량을 제어하여 셀 효율을 유지하는 핵심 부품으로 사용됩니다. 매스플로우 컨트롤러(MFC)는 내장 제어 밸브를 통해 가스 질량 유량을 측정하고 동시에 정밀하게 제어하는 장치이며, 매스플로우 미터(MFM)는 가스 유량을 정확하게 측정하는 데 쓰입니다. 저압 전자식 압력 제어기는 진공 인접 실험이나 저압 분석 공정에서 압력을 정밀하게 제어하며, 리드아웃 유닛은 제어기 및 측정기의 신호를 관리하는 데 사용됩니다. 두 개의 가열된 센서를 사용하는 열식 질량 유량 측정 방식을 적용하며, 8포인트 선형화 기술로 0.01 sccm부터 5,000 slpm까지 넓은 범위를 정밀하게 다룹니다. 아날로그와 디지털 인터페이스를 지원하며, 2초 미만의 빠른 응답 속도를 구현하고 방폭 사양을 포함한 까다로운 환경 대응 설계 기술을 갖추고 있습니다. 1997년 설립되어 로 MFC 모델을 양산하였으며, KAIST와 공동 연구를 수행하며 측정 범위를 지속적으로 확대해 왔습니다. 2016년에는 리드아웃 유닛을 개발하였고, 현재 해외 13개국에 제품을 공급하고 있습니다.