(주)포엠일렉트로옵틱

대전 대덕구에 자리한 (주)포엠일렉트로옵틱은 반도체 전공정에서 쓰이는 각종 제조 장비를 만드는 기업입니다. 반도체 회로를 형성하거나 세척하고 검사하는 공정에 필요한 설비를 개발하여 공급합니다. 금속 부품과 유량계 등 원자재를 받아 정밀 가공 및 조립 공정을 거쳐 완제품을 생산합니다. 2024년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며, 제조시설 면적은 496.2㎡입니다. 「반도체 제조장비」 공장 659곳 가운데 제조시설 넓이는 상위 50%에 해당합니다. 반도체 제조장비를 만드는 공장은 전국에 2,091곳, 대전 대덕구에는 15곳 있습니다. 이 회사가 만드는 장비는 반도체 제조 공정의 핵심 라인에 투입되어 회로 형성 및 공정 자동화를 담당하는 반도체 산업의 기반 시설로 쓰입니다. 반응성 이온 식각 장비인 RIE는 플라즈마를 이용해 반도체 웨이퍼 표면을 미세하게 깎아내는 설비입니다. RF 플라즈마 애셔는 공정 후 잔류물을 제거하여 웨이퍼를 세정할 때 사용하며, 웻스테이션은 화학 용액을 이용한 습식 세정 공정에 활용됩니다. 또한 레이저 마커는 웨이퍼 표면에 정보를 각인하거나 식별 기호를 새기는 역할을 합니다. 정밀 가공 기술을 바탕으로 반도체 장비의 프레임과 구동부 부품을 직접 제작하며, 볼 스크류와 타이밍 벨트를 활용한 정밀 구동 시스템을 구축합니다. 진공 로봇을 포함한 자동 로딩 시스템과 터치 패널 기반의 제어 프로그램을 설계하여 완전 자동화 공정을 구현합니다. 플라즈마 발생 장치와 RF 전원 제어 기술을 통해 나노 단위 공정의 정밀도를 유지합니다. 주요 설비로는 웨이퍼 이송을 위한 진공 로봇, 정밀 LM 가이드, 볼 스크류 시스템을 갖추고 있으며 PC 및 PLC 기반의 제어 장치를 직접 구성합니다. 2014년부터 사업을 이어오고 있으며 대전 대덕구 가온비즈타워에 본사와 공장을 두고 있습니다. 베트남 하노이에 해외 법인을 운영하며 현지 기술 지원 체계를 마련했습니다.