반도체 웨이퍼나 디스플레이 패널 표면에 원자층 단위로 박막을 형성하는 장비를 만드는 (주)엔씨디는 대전 유성구에 본사를 두고 있습니다. 이 장비는 기판 표면에 산화물이나 질화물 같은 물질을 균일하게 코팅하여 반도체 소자의 성능을 높이거나 디스플레이의 수명을 늘리는 데 쓰입니다.
비철금속류인 스테인리스강과 알루미늄, 그리고 진공부품을 원자재로 받아 정밀가공과 조립 공정을 거쳐 장비를 완성합니다. 2011년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며, 제조시설 면적은 2,329.9㎡입니다.
반도체 제조 라인에서 웨이퍼 표면에 절연막이나 게이트막을 형성할 때 쓰이는 핵심 장비입니다. 또한 OLED 디스플레이의 봉지 공정에 적용되어 외부 수분과 산소로부터 패널을 보호하는 역할을 합니다.
주력 제품인 Lucida S series ALD는 300mm 웨이퍼를 대상으로 Al₂O₃, HfO₂ 등 다양한 산화물 박막을 증착하는 클러스터 시스템입니다. Lucida D series ALD는 100~300mm 웨이퍼를 다루며 연구개발 단계에서 다양한 물질을 시험 증착하는 데 사용됩니다. 디스플레이 분야에서는 Lucida GD series가 OLED 봉지 공정에 쓰이고, GuD series는 OLEDoS 디스플레이의 봉지 공정에 적용됩니다.
원자층 증착 공법은 전구체와 반응체를 순차적으로 주입하여 기판 표면에서 자기 제한적인 흡착 반응을 일으킵니다. 이 과정을 반복함으로써 원자층 단위의 두께 조절이 가능하며, 단차 피복성이 좋아 복잡한 3D 형상에도 균일한 박막을 형성합니다. 산화물, 질화물, 금속 등 다양한 재질을 저온에서 증착할 수 있습니다.
2026년 4월 반도체 부품 코팅 생산성 향상을 위한 Lucida GSH Series ALD 10호기를 출하했습니다. 2024년 5월에는 보호용 코팅을 위한 원자층 증착 장비를 추가 공급했으며, 2023년 12월에는 구리 소재 기판의 산화방지를 위한 ALD 장비 및 기술을 제공했습니다.