스퍼터 장비는 진공 환경에서 금속이나 산화물 소재를 기판 표면에 얇게 증착시키는 장치로, OLED 디스플레이와 반도체 기판 제조 공정의 핵심 단계에서 사용됩니다. 충남 아산에 본사를 둔 (주)에이치앤이루자는 이러한 반도체 및 디스플레이 제조용 기계와 스퍼터 장비를 전문적으로 개발하고 생산하는 기업입니다.
철강과 SUS 소재를 원자재로 사용하여 챔버와 캐소드 등 주요 부품을 정밀 가공한 뒤 조립하는 공정을 거칩니다. 2013년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며, 현재 제조 시설 면적은 10,160㎡ 규모입니다.
반도체 산업의 기판 제조 라인에 배치되어, 웨이퍼나 유리 기판 위에 필요한 소재를 균일하게 증착하는 역할을 수행합니다.
주력 제품인 CREJU 시리즈는 OLED 제조용 장비로, 진공 로봇을 이용해 대형 기판을 수평 또는 수직 방향으로 이동시키며 스퍼터링 방식으로 금속 소재나 산화물을 증착합니다. 이 장비는 다층 구조 형성, 기판 가열 기능, 낮은 파티클 발생, 그리고 단일 타겟 사용 시 최대 효율화를 특징으로 합니다. 또한 반도체용 스퍼터 시스템도 공급하여 반도체 유리 기판에 소재를 증착하는 공정에도 활용됩니다.
진공 및 증착 기술을 기반으로 8년 이상 OLED 장비 개발을 이어오며 양산 노하우를 적용하고 있습니다. 고객사의 요구에 맞춘 맞춤형 제조와 공정 기술을 보유하고 있으며, 접거나 구부릴 수 있는 디스플레이, 롤러블, 스트레처블, 투명 디스플레이 등 차세대 디스플레이 제조에 필요한 신기술을 개발하고 적용합니다. 생산 효율성을 극대화하기 위해 조립 공정을 지속적으로 개선하고 있습니다.
2007년 설립 이후 스퍼터 기술 개발에 집중해 왔으며, 2016년 중국 쑤저우에 자회사를 설립했습니다. 2018년 국내 및 해외 플렉시블 OLED 스퍼터 시장에서 90%의 시장 점유율을 달성했고, 2021년 8.5G PECVD 개발을 완료했습니다. 2023년에는 IT OLED 8.6G 스퍼터 수주와 반도체 유리 기판용 스퍼터 시스템 공급을 진행했으며, 2025년 디스플레이용 6G PECVD 개발을 완료했습니다.