(주)에스피티

충남 천안시에 위치한 에스피티는 반도체 제조 공정에 필요한 각종 장비와 세정 설비를 설계하고 제작합니다. 반도체 웨이퍼의 세정과 노광 공정을 비롯해 생산 라인에서 부품을 검사하거나 작업을 보조하는 장치를 개발하여 반도체 생산 효율을 높이는 데 기여하고 있습니다. 반도체 제조 장비 제작을 위해 정밀 가공과 조립 공정을 거치며, 2020년부터 이 자리에서 공장을 운영하고 있습니다. 같은 품목을 만드는 공장 659곳 가운데 제조 시설 넓이는 상위 50%에 해당합니다. 주로 반도체 산업에 사용되며, 반도체 웨이퍼의 세정 및 패턴 형성 공정뿐만 아니라 자동차용 카메라, 웨어러블 기기, 냉장고 부품의 검사 공정 등에 활용됩니다. 검사기는 자동차용 카메라, 웨어러블 기기, 핸드폰, 냉장고 카메라 등의 기밀성이나 외관을 자동으로 점검하는 장비로 24시간 연속 검사가 가능합니다. 디스크 인스펙터는 디스플레이 공정에 쓰이는 원형 세라믹 디스크의 양면을 반전시켜 검사함으로써 작업 효율을 높이는 장치입니다. 코일 와인더는 반도체 세정 설비에 사용되는 PFA 튜브의 파손을 방지하기 위해 보호용 코일을 감아주는 보조 설비입니다. 반도체 세정 및 포토 공정 설비의 셋업과 개조를 수행하며, 19nm 급의 미세 공정에 대응하는 매엽식 세정 기술을 보유하고 있습니다. 입자 제거 기술과 더불어 150℃ 이상의 고온 공정을 처리할 수 있는 설비를 다룹니다. 또한, 반도체 장비 내부의 이송 로봇 시스템, 화학 물질의 자동 피드백 제어 시스템, 자가 진단 기능을 포함한 장비 운용 기술을 통해 공정의 정밀도를 유지합니다. 150평 규모의 클린룸 설비를 갖추고 있으며, 2002년에 설립되었습니다. 2020년에 새연과 합병하며 현재의 사업 체계를 구축하였습니다.