(주)이디디

충남 천안시에 위치한 이디디는 반도체 제조 공정의 핵심 설비인 식각장비를 만드는 기업입니다. 식각장비는 웨이퍼 표면의 불필요한 부분을 깎아내어 회로 패턴을 형성하는 반도체 제조의 필수적인 장치입니다. 이디디는 철강 및 알루미늄, 세라믹 등의 원자재와 컨트롤러를 주요 재료로 사용하며 정밀 가공 및 조립 공정을 거쳐 장비를 제작합니다. 2007년부터 천안의 해당 공장에서 생산을 이어오고 있으며 제조 시설 면적은 1136.4㎡입니다. 같은 품목을 생산하는 공장 659곳 가운데 제조 시설 넓이는 상위 50%에 해당합니다. 이 회사가 생산하는 식각장비는 반도체 제조 공정 중 회로를 그려내는 식각 단계에 직접 투입되는 설비로, 고도의 정밀도가 요구되는 반도체 산업 현장에서 필수적으로 쓰입니다. 주력 제품인 드라이 에처는 반도체 웨이퍼 표면에 플라즈마를 발생시켜 회로를 가공하는 장비입니다. 4인치에서 8인치 웨이퍼 처리가 가능하며 정밀한 식각 균일도와 프로파일을 구현합니다. 또한 기존 장비의 성능을 높이는 업그레이드 서비스와 노후 장비의 기능을 복원하는 수리 및 개선 작업을 수행합니다. 플라즈마 소스로 CCP 방식을 채택하여 웨이퍼를 처리하며, 가공 시 SF6, CF4, Cl2, HBr 등 다양한 공정 가스를 제어하여 질화막 및 폴리실리콘 식각을 수행합니다. 장비 내부에는 웨이퍼 핸들링을 위한 로봇과 비접촉식 정렬 장치, 13.56MHz RF 발전기 및 매칭 장치가 탑재되어 있습니다. SECSII/GEM 통신 규격을 지원하며 공정 결과를 실시간으로 감지하는 광학 엔드포인트 검출기를 적용합니다. 2001년 설립 이후 2006년 산화막 식각 장비 출시에 이어 2007년 제조 및 수리 공장 지정을 받았습니다. 공장에는 진공 로드락과 2개의 로드 스테이션을 갖춘 자동화 처리 설비를 보유하고 있습니다.