(주)마이다스시스템

대전 유성구에 위치한 마이다스시스템은 반도체, MEMS, 바이오 소자 및 나노기술 연구와 생산에 필수적인 노광장비를 개발하고 제작합니다. 이 장비들은 미세 패턴을 형성하는 공정에 핵심적으로 사용되어 다양한 기술 분야의 연구 기반을 뒷받침합니다. 정밀한 기계 가공과 체계적인 조립 공정을 거쳐 제품을 생산합니다. 2004년부터 대덕테크노밸리 내 현 사업장에서 공장을 운영해 왔으며, 제조시설 면적은 675.0㎡ 규모입니다. 같은 품목 공장 659곳 가운데 제조시설 넓이는 상위 50%에 해당합니다. 이 회사가 만드는 것 가운데 반도체 제조장비 품목은 전국에 2091곳, 대전 유성구 42곳 있습니다. 반도체 연구 및 생산뿐만 아니라 MEMS 공정, 바이오칩 연구, 나노기술 개발 등 첨단 산업 현장의 전반적인 미세 공정 단계에 활용됩니다. 마스크 얼라이너는 마스크의 패턴을 시료에 정렬하여 노광하는 장비로, 사용자의 연구 목적에 맞춰 조각부터 최대 12인치 웨이퍼까지 대응 가능한 다양한 모델을 공급합니다. 스핀 코터는 시료 표면에 균일하게 감광액 등을 도포하는 장치로, 터치 패널을 적용하여 간편한 조작과 공정 관리가 가능하도록 제작되었습니다. 이외에도 미세 패턴을 직접 그리는 마스크리스 시스템과 나노 임프린트 장비를 생산하여 고객의 응용 분야에 적합한 맞춤식 설비를 제공합니다. PC와 PLC를 결합한 제어 방식을 사용하여 노광 및 코팅 공정의 정밀도를 높였으며, 방진 메커니즘을 기본으로 장착해 공정 안정성을 확보합니다. 수은 램프 대신 UV LED 광원을 채택하여 장비 운영 효율을 개선하고 있으며, 스테이지 이동을 위한 조이스틱 제어 기술과 터치 패널 기반의 레시피 관리 시스템을 자체적으로 구현합니다. 1998년 설립된 이래 1999년 스핀 코터 개발을 시작으로 2002년 로 웨이퍼용 마스크 얼라이너를 상용화했습니다. 2004년 대덕테크노밸리로 사옥 및 공장을 이전하며 생산 기반을 마련했고, 이후 오토 마스크 얼라이너, 스캔 타입 노광기, 대면적 오토 얼라이너 등을 꾸준히 개발해 왔습니다.