(주)켐가스코리아

충북 음성군에 있는 켐가스코리아는 반도체, 디스플레이, 태양광 산업 공정에 필수적으로 사용되는 특수가스와 케미컬 소재를 생산하는 기업입니다. 이들이 만드는 제품은 미세한 회로 패턴을 형성하거나 박막을 증착하는 등 고도의 정밀함이 요구되는 제조 공정의 핵심 원료로 공급됩니다. 고순도 가스 정제 및 배합 기술을 기반으로 특수 가스 및 액체 케미컬을 제조하며, 2025년부터 운영 중인 음성 사업장은 2,040㎡ 규모의 제조 시설을 갖추고 있습니다. 전체 부지는 22,115.3㎡에 달하며, 2005년부터 특수가스 제조 및 저장 플랜트를 지속적으로 구축하여 체계적인 생산 라인을 운영해 왔습니다. 이 회사가 만드는 것 가운데 「전자·전지·디스플레이 소재」 품목은 전국에 343곳, 충북 음성군에는 8곳 있습니다. 생산된 소재들은 반도체와 디스플레이의 회로 형성 및 세정 공정, 그리고 전기차 배터리 제조의 주요 공정 라인에 투입되어 고성능 소자 생산을 뒷받침합니다. 주요 생산 제품으로는 엑시머 레이저 가스(Excimer Laser Gas) 계열이 있는데, 이는 리소그래피 공정에서 미세 회로를 그리는 데 사용되는 핵심 가스입니다. 또한 육불화에탄(C2F6)과 육불화부타디엔(C4F6)은 반도체 웨이퍼의 식각 공정에서 회로 이외의 부분을 깎아내는 데 쓰이며, 사염화규소(SiCl4)는 반도체 박막 증착 및 광섬유 제조의 원료로 활용됩니다. 이외에도 아르신(AsH3)과 포스핀(PH3) 등 도핑 가스와 증착용 케미컬 등을 폭넓게 다룹니다. 가스의 고순도 정제 및 정밀 혼합 공법을 핵심 기술로 보유하고 있으며, 불순물을 극소화하는 분석 시스템을 통해 제품의 순도를 유지합니다. 헬륨, 염화수소, 삼불화붕소 등 다양한 가스 및 화학물질을 다루며, 원료의 합성부터 정제, 혼합, 충전, 그리고 최종 제품의 분석까지 일련의 과정을 직접 수행하여 반도체용 고기능성 소재의 규격에 최적화된 결과물을 생산합니다. 2005년 설립 이후 특수가스 제조 및 저장 플랜트를 건설하며 기반을 닦았고, 2015년 이후 주요 특수가스 생산 설비를 확충했습니다. 2025년에는 음성 내 제2 제조 사업장을 준공하여 생산 능력을 증대하였으며, 국내 총 3개의 사업장을 통해 안정적인 공급망을 갖추고 있습니다.