독성가스나 고압가스를 공정 장비까지 안전하게 공급하는 가스 캐비닛을 만듭니다. 이 장치는 가스의 공급 압력을 일정하게 유지하면서 비상 시 차단 및 배기 기능을 수행하여 반도체 및 디스플레이 제조 현장의 공정 안정성을 책임집니다. 대전 대덕구에 위치한 (주)삼화이엔지는 이러한 정밀 가스 공급 장치를 전문으로 제작하고 있습니다.
SUS316 튜브, 압력조정기, 가스필터, 밸브류, 피팅류 등 원자재를 받아 정밀가공과 조립 공정을 거쳐 완성합니다. 2022년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며, 제조 시설 면적은 1,251㎡ 규모입니다.
반도체와 디스플레이 제조 공정의 핵심 설비로, 공정 가스를 안정적으로 공급하는 인프라의 한 축을 이룹니다.
가스 캐비닛은 독성가스 및 고압가스의 공급 압력을 일정하게 유지하여 분배장치나 메인 공정장비까지 안전하게 공급하는 장치로, 비상 차단 및 배기 기능이 내장되어 있습니다. 용기 수량과 가스 특성에 따라 Gas Sensor, Sprinkler, Loadcell, Heating 등의 기능을 선택적으로 구성할 수 있습니다. 또한 Analyzer System은 공정 가스의 성분을 실시간으로 분석하여 미량의 불순물까지 검출하는 정밀 모니터링 장치입니다.
SUS316 튜브를 정밀가공하여 밸브류와 피팅류, 압력조정기, 가스필터와 조립합니다. 가스의 종류와 공정 조건에 맞춰 Gas Chromatograph, 전문 분석 센서, 자동 샘플링 제어, 데이터 로깅 등의 기능을 통합하여 맞춤형 솔루션을 제공합니다.
2012년 법인 설립 후 2020년 본사 및 공장을 확장하고, 2022년 공장 등록과 기계설비 공사업 면허를 취득했습니다. 2023년 본사 클린룸을 증축했으며, 2025년 특정설비 제조업 등록을 마쳤습니다. 2019년 상주지점을 등록하여 지역 거점을 확보했습니다.
