(주)피앤테크

충북 청주시에 있는 (주)피앤테크는 반도체 제조 공정에 필요한 퍼니스(Furnace) 장비를 설계하고 생산하는 기업입니다. 이 장비는 반도체 웨이퍼에 열을 가하여 박막을 증착하거나 확산시키는 등 반도체 제조의 핵심 열처리 과정을 담당합니다. 이 회사는 정밀 가공 및 조립 공정을 거쳐 반도체와 태양광 제조 장비를 제작하며 2006년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔습니다. 제조 시설은 494.1㎡ 규모로 갖추고 있습니다. 이 회사가 만드는 것 가운데 반도체 제조장비 품목은 전국에 2091곳, 충북 청주시에 89곳 있습니다. 반도체 제조 장비는 반도체 생산 라인에서 웨이퍼의 열처리 공정을 담당하며, 태양광 셀 제조 및 다양한 산업용 열처리 공정에도 폭넓게 쓰이고 있습니다. 주력인 버티컬 퍼니스(Vertical Furnace)는 수직형으로 웨이퍼를 적재하여 고온 공정을 수행하는 핵심 장비입니다. LP-CVD 장비는 진공 상태에서 화학 기상 증착을 통해 박막을 균일하게 형성하며, PECVD 장비는 플라즈마를 사용하여 저온에서도 박막 증착이 가능하도록 돕습니다. 이외에도 확산 공정에 쓰이는 POCL3 디퓨전 퍼니스를 생산하여 반도체 생산성 향상에 기여합니다. 열처리 공정에 필요한 고온 제어 기술과 고진공 박막 형성 기술을 기반으로 장비를 제작하며 설계부터 제작까지 전 과정을 직접 수행합니다. 특히 SiC 웨이퍼 공정을 위한 초고온 열처리 기술과 대면적 웨이퍼 처리를 위한 대형 퍼니스 제조 역량을 보유하고 있습니다. Graphene CVD와 같이 신소재 공정을 위한 특수 장비 개발을 수행하며 박막 증착의 정밀도를 높이는 공법을 적용합니다. 6인치, 8인치, 12인치 웨이퍼 대응이 가능한 다양한 수직 및 수평형 퍼니스 설비를 갖추고 있습니다. 2002년 창립 이후 2012년 SK 하이닉스 유지보수를 시작으로 2016년 LG 태양광 장비 공급, 2019년 12인치 버티컬 퍼니스 개발 등 꾸준히 기술을 발전시켜 왔습니다. 2023년에는 SiC 웨이퍼 공정용 초고온 퍼니스를 개발하며 사업 영역을 확장해 왔습니다.