(주)그래핀랩

경기 화성시에 있는 그래핀랩은 반도체 공정에 필요한 핵심 부품인 EUV 펠리클과 관련 소재를 만드는 기업입니다. EUV 펠리클은 반도체 초미세 회로 패턴을 만드는 노광 공정 중에 포토마스크가 오염되지 않도록 보호하여 제품의 불량률을 줄이고 수율을 높이는 데 쓰이는 얇은 박막 장비입니다. 이 회사는 그래핀 신소재를 활용하여 EUV 펠리클을 제작하며, 그래핀 저온 직성장 기술과 CVD 공법 등을 통해 제품을 생산합니다. 2021년부터 화성동탄일반산업단지 내 690㎡ 규모의 제조 시설에서 공장을 운영하고 있습니다. 이 회사가 만드는 것 가운데 「인쇄회로기판(PCB)」 품목은 전국에 1566곳, 경기 화성시 34곳 있습니다. 생산된 부품은 전자·IT기기 및 자동차·모빌리티, 통신·네트워크 산업의 반도체 및 디스플레이 제조 공정에 공급되어 초미세 회로 구현을 돕는 역할을 합니다. EUV 펠리클은 반도체 노광 공정에서 회로가 새겨진 포토마스크를 외부 오염으로부터 보호하는 핵심 소모품입니다. FMM(Fine Metal Mask)은 OLED 디스플레이를 제작할 때 유기물을 증착하기 위한 미세 금속 마스크로 쓰이며, 그래핀 발열체는 그래핀 소재의 전기적 특성을 이용하여 균일한 열을 발생시키는 장치입니다. 그래핀을 기판 위에 직접 성장시키는 그래핀 저온 직성장 기술과 탄소를 입히는 CVD(화학 기상 증착) 제조 기술을 기반으로 제품을 가공합니다. 또한 MEMS 공정을 활용하여 미세한 구조물을 제작하며, 인바(Invar) 도금 공정을 통해 열팽창을 최소화하는 등 정밀한 소재 가공 기술을 적용하고 있습니다. 2021년 공장 등록 이후 반도체 및 디스플레이 관련 연구와 생산을 지속하고 있습니다. 주요 설비로는 그래핀 성장 장치와 EUV 펠리클 제작 및 분석 장비를 갖추고 있으며, 공정 과정에서 투과율 측정 및 기계적 강도 테스트를 수행합니다.