(주)지에스하이테크

경기도 시흥시에 위치한 지에스하이테크는 반도체 제조 공정에 필수적인 화학 물질의 농도를 분석하고 불순물을 걸러내는 정밀 제어 설비를 만드는 기업입니다. 전자부품을 주요 원자재로 사용하여 정밀 가공 및 조립 공정을 통해 제품을 생산하며 2025년부터 시화국가산업단지 내 코포모테크노센타에서 147.6㎡ 규모의 제조 시설을 운영하고 있습니다. 반도체 제조 현장의 화학 용액 공급 장치나 세정 장비 내에 설치되어 공정의 신뢰성과 효율을 관리하는 용도로 활용됩니다. 케미칼 분석 시스템은 반도체 공정에 쓰이는 황산, 과산화수소, 불소와 같은 화학 물질의 농도를 실시간으로 모니터링하여 공정 상태를 최적화하는 장비입니다. 가스 및 케미칼 필터는 공정 내 불순물을 제거하는 역할을 하며 케미칼 밸브와 탱크, 가스 레귤레이터는 화학 물질을 정밀하게 이송하고 제어하는 데 사용됩니다. 광흡수 분광법인 OAS를 이용해 자외선과 적외선을 투과시켜 과산화수소와 황산의 농도를 실시간으로 측정합니다. 불소 농도는 이온 선택 전극법인 ISE 방식을 사용하여 별도의 희석제나 시약 없이 자체적으로 pH를 보상하며 측정합니다. 이 공정은 인라인 방식으로 운영되며 정밀한 농도 분석을 통해 측정값의 반복 오차를 ±2% 이내로 유지합니다. 시화국가산업단지 내 코포모테크노센타Ⅱ에 공장을 두고 있으며 반도체 공정용 화학 분석 및 제어 설비 생산을 위한 제조 공정 설비를 갖추고 있습니다.