반도체와 디스플레이 소자를 만들 때 필요한 박막 증착 장비를 만드는 (주)테라리더는 대전 유성구에 자리하고 있습니다. 이 장비는 원자나 분자 단위로 물질을 기판 위에 얇게 입히는 공정을 수행하며, 차세대 전자소재와 정밀 부품의 성능을 좌우하는 핵심 공정 단계에서 사용됩니다.
게이지와 펌프 같은 정밀 부품을 원자재로 받아 정밀가공과 조립 공정을 거칩니다. 2019년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며, 제조 시설 넓이는 2,580㎡입니다.
반도체 제조용 기계 산업에 속하며, 반도체 웨이퍼나 디스플레이 패널 위에 기능성 박막을 형성하는 공정 라인에 설치되어 사용됩니다.
CVD(화학기상증착) 장비는 가스가 기판 표면에서 반응해 고체 박막을 형성하는 데 쓰입니다. PVD(물리증착) 장비는 진공 상태에서 원자를 증발시켜 기판에 입히는 공정에 활용됩니다. UMP(울트라 마이크론 포지셔닝) 장비는 미세한 위치 정밀도가 필요한 나노 구조물 제작 시 정밀한 이동을 담당합니다.
고전계 양극산화 장치 기술과 Electro spinning 기술을 한국전자통신연구원과 전기연구원으로부터 기술이전 받아 보유하고 있습니다. Electrospinning/spray 방식의 나노코팅 기술과 나노와이어, 미세패턴 인쇄 기술을 다루며, VO2 RF Sputtering 시스템과 Thermal CVD for 그래핀 시스템을 개발했습니다. 고속 양극산화 나노 멤브레인 제조 기술과 나노 다공성 알루미나 멤브레인 또는 템플릿 제작 기술도 갖추고 있습니다.
2011년 12월 ㈜테라리더 설립 후, 2012년 11월 대전사업장(공장)을 설립했습니다. 2013년 1월 AAO 멤브레인필터 20nm급 나노 홀 결과를 확보하고, 2013년 4월 나노 와이어 제조 장비를 개발해 KERI에 납품했습니다. 2013년 6월 MTI와 공급계약을 체결했으며, 2014년 2월 Electro spinning 기술 이전을 완료했습니다. 2014년 3월 전기연구원 고전계 양극산화 장치 기술 이전을 받았습니다.