(주)엠알코퍼레이션

경기 안양시에 자리한 엠알코퍼레이션은 기체유량제어 장치인 MFC를 전문으로 개발하고 생산합니다. MFC는 반도체나 디스플레이 제조 공정에서 흐르는 가스의 양을 정밀하게 측정하고 제어하는 데 쓰이는 핵심 장비입니다. 알루미늄과 SUS를 주재료로 하여 정밀 가공 및 조립 공정을 거쳐 제품을 완성합니다. 제조 시설은 138.6㎡ 규모로 갖추고 있으며, 2022년부터 해당 공장을 운영해 오고 있습니다. 이 회사가 만드는 것 가운데 자동제어·공정제어 품목은 전국에 1,892곳, 경기 안양시에는 53곳 있습니다. 주로 반도체 및 디스플레이 생산 라인의 가스 제어 설비에 활용되며, 공장 자동화 라인이나 각종 산업용 플랜트 현장으로 공급됩니다. MFC(질량유량제어기)와 MFM(질량유량계)이 핵심 제품입니다. MFC는 가스의 흐름을 일정한 양으로 정밀하게 제어하여 제조 공정의 정확도를 유지하는 역할을 하며, MFM은 흐르는 가스의 질량을 실시간으로 측정하여 상태를 감시하는 장치입니다. 정밀 계측을 위한 센서 권선 기술을 적용하며, 센서 바디와 회로 기판을 UV 접착제로 견고하게 결합하는 공법을 활용합니다. 가공 시에는 온도 변화에 따른 정밀도를 유지하기 위해 자체 제작한 권선기와 데이터 로깅 프로그램을 사용하여 0.12bar 이상의 저압 환경에서도 빠른 응답성과 높은 재현성을 확보하고 있습니다. Molbox, Molbloc을 결합한 정밀 계측 기준기를 비롯하여 다기능 디지털 멀티미터, 오실로스코프, 파워 서플라이 등 정밀 측정 및 제어 설비를 보유하고 있습니다. 2017년 법인을 설립하여 기초 연구 개발을 시작한 이후, 현재 안양 디지털엠파이어 본사 외에도 인덕원IT밸리에 제1공장, 동탄 2지구에 제2공장을 운영하고 있습니다.