(주)제이씨솔루션

경기 평택시에 위치한 제이씨솔루션은 반도체와 TFT-LCD 제조 공정에서 웨이퍼를 이동시키는 자동 반송 로봇을 만드는 기업입니다. 다양한 가공품과 판금 자재를 입고하여 정밀 가공 및 조립 공정을 거쳐 제품을 생산합니다. 2021년부터 평택진위2일반산업단지에 자리한 지식산업센터 내 공장을 운영하고 있으며, 제조 시설 면적은 196.8㎡입니다. 이 회사가 만드는 것 가운데 산업용로봇·자동화 품목은 전국에 3,095곳, 경기 평택시에 47곳 있습니다. 생산된 로봇은 클러스터 툴이나 화학 기상 증착 장비 등 반도체 및 디스플레이 생산 라인에 설치되어 공정 자동화를 돕는 용도로 나갑니다. 반도체용 웨이퍼 이송 로봇은 클러스터 툴, CVD, 에처 장비 등에서 웨이퍼를 정밀하게 이동시킬 때 쓰입니다. 비접촉식 핸드는 공기 압력을 이용해 웨이퍼를 띄워 유지하는 장치로, 웨이퍼 손상을 최소화해야 하는 박형 웨이퍼 이송에 주로 사용합니다. 웨이퍼 얼라이너는 얇은 웨이퍼의 노치나 오리엔테이션 플랫을 정렬하여 위치를 맞추는 장비입니다. 로봇 본체 내 기체 흐름을 활용한 부압 생성 기술을 통해 웨이퍼를 비접촉 상태로 0.1mm에서 0.2mm 틈새를 유지하며 이송합니다. RS232, 패러렐 포트 등 PC 기반의 I/O 제어 방식을 적용하며, 얇은 웨이퍼의 휨을 교정하여 이송하는 자기 정합 유지 기능을 갖추고 있습니다. 진공 흡착 방식 대비 웨이퍼가 받는 스트레스를 대폭 낮춰 박형 웨이퍼의 안전한 처리를 지원합니다. 2021년 평택진위2일반산업단지에 공장을 등록하여 현재까지 운영 중이며, 더퍼스트타워평택 내에 사업장을 두고 있습니다.