경상북도 구미시에 위치한 씨엠티엑스는 반도체 제조 장비에 들어가는 핵심 부품을 만드는 기업입니다. 사파이어 노즐, 실리콘 전극, 실리콘 링과 같은 반도체 소모성 부품을 생산하여 공정 장비의 성능을 유지하고 반도체 칩 생산 효율을 높이는 역할을 합니다.
실리콘 잉곳, 사파이어, 세라믹 등의 원자재를 공급받아 조립 및 정밀 가공 공정을 거쳐 제품을 생산합니다. 2018년부터 구미 산업단지 내에서 공장을 운영해 왔으며 제조시설 면적은 9,361.9㎡에 이릅니다. 전체 공장 운영 과정에서 자동화 설비와 공정 관리 시스템을 적극적으로 활용합니다.
생산된 부품은 반도체 제조 공정 중 식각이나 세정 등 주요 장비의 내부 파츠로 쓰이며 전체 반도체 산업의 생산 효율과 안정성을 뒷받침합니다.
사파이어 노즐은 반도체 장비 내에서 특정 물질을 분사하거나 처리할 때 고내구성을 유지하는 부품입니다. 실리콘 전극은 플라즈마 환경에서 식각 공정을 수행할 때 전압을 인가하고 제어하는 역할을 하며 실리콘 링은 웨이퍼를 고정하고 공정 환경을 일정하게 유지하는 데 쓰입니다.
실리콘 잉곳 준비부터 표면 연마, 형상 가공, 에칭, 폴리싱, 최종 세정에 이르는 일괄 생산 체계를 갖추고 있습니다. 수 µm 단위의 정밀도를 구현하기 위해 3차원 측정과 비접촉 조도 측정 기술을 활용하며, 식각 공정에서는 플라즈마 환경에 최적화된 표면 처리 공법을 적용합니다.
주요 설비로 세정 및 에칭 자동화 라인과 3차원 측정기, 가공 시뮬레이터 등을 보유하고 있습니다. 2013년 설립 이후 2017년 구미로 본사를 이전하였으며 2024년 현재의 사명으로 변경하였습니다. 천안에 중앙연구소를 두고 있으며 구미와 천안 등지에 다수의 캠퍼스 공장을 운영합니다.