우주이엔지

(주)우주이엔지는 2016년 8월 설립된 기업으로, 반도체·LCD·SOLAR 장비의 개조, 조립, 셋업 및 해체이설을 메인 사업으로 영위하고 있으며 로봇 및 제네레이터 수리사업을 함께 진행하고 있습니다.

설립 이래 LAM Research, 원익IPS, APTC, 파이퍼베큠, LOT, Semes 등 주요 반도체 장비 기업들과 협력 관계를 구축하며 반도체 장비 약 630대, 기타 설비 약 1,600SET 이상의 셋업 및 수리 실적을 달성하였습니다.

본사 및 1공장(화성 동탄)을 중심으로 2공장(로봇 수리), 3공장(용인, 제네레이터 수리), 4공장(이천, 프로파일 생산 및 오존 제네레이터 수리) 등의 전문 사업장을 구축하여 운영하고 있습니다.

• Pre-Work (초기 진단): 외관 검사(Visual Inspection), 데이터 다운로드(Data Download), R/T/Z 기능 점검, 수명 테스트(Life Test)

• Precision Diagnosis (정밀 진단/고장 분석): 에러 로그 분석(Error Log Analyze), 이동 한계 점검(R,T,Z Travel Limit Check), 모터 전류 점검(Motors Current Check), 축 런아웃 점검(T1/T2 Shaft Runout Check), Z축 자유 낙하 점검(Z Free Fall Check), 기능 점검 및 I/O 점검

• Disassemble (로봇 분해): PCB, 제어 파트 브래킷, Z축 모듈, Z-엔코더 모듈, 볼스크루/브레이크, T1/T2 모듈, 베어링, 아마추어, 마그넷, 리니어 가이드 및 레일 분해

• Assemble (부품 세정 및 조립): 부품 세정(Parts Cleaning), 불량 부품 교체(Replacement of Defective Parts), 모듈 조립 및 튜닝·캘리브레이션

• Calibration & Test (교정 및 최종 검증): R/T/Z 캘리브레이션, Life Test, 고속/팬 속도 테스트, 웨이퍼 슬립/배치 테스트, 리크 테스트

• Shipment (출하 검사 및 포장): 최종 품질검사(Final QC), 포장 및 출하 서류 작성

반도체 진공 장비 셋업·이설 및 로봇/제네레이터 수리, 부품 공급 서비스를 제공하고 있습니다.

• Brooks Robot 수리 모델: Magnatran 7 Robot, BiSymmetrik Arm, LeapFrog Arm, Magnatran 8 Robot, Reliance 3-axis ATM Robot, Reliance 4-axis ATM Robot, SCARA Arm, AcuLigner, Controller (ATR8, MAG8)

• Robot / Blade 수리 제품: KAWASAKI Robot, Asyst Robot, AMAT Robot, LAM Vacuum Robot Blade, LAM ATM Robot Blade, NOVELLUS Blade, YASKAWA Blade, KAWASAKI Blade

• 제네레이터 수리: RF Generator, Ozone Generator, MKS 제네레이터 수리

• 자체 생산품: 프로파일 대차, 트레이, WORK FENCE 생산

• Robot Test System: Vacuum robot test stand (Mag 7, Mag 8), ATM robot test stand (ATR 8 3-axis, ATR 8 4-axis) - 신뢰성·반복성·정밀도 테스트

• 데이터 측정 툴 및 프로그램: 72시간 Cycle Test 후 출하 (Retract / Vibration / Reliability 진단 및 축 데이터 측정)

• Laser Sensor: 측정 중심 거리 40mm, 측정 범위 ±10mm, 직진성 ±0.2%(측정 범위)