아텍시스템

인천 부평구에 자리한 아텍시스템은 반도체 웨이퍼나 디스플레이 기판 위에 얇은 막을 입히는 증착 장비를 만듭니다. 반도체 제조 공정에서 금속이나 절연막을 형성하는 핵심 장비를 주로 다루고 있습니다. 이 회사는 PCB와 IC 등을 주요 부품으로 받아 정밀 가공 및 조립 공정을 거쳐 장비를 제작합니다. 2005년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며, 전체 제조 시설 넓이는 1150.9㎡입니다. 같은 품목 공장 659곳 가운데 제조시설 넓이는 상위 50%에 듭니다. 이 회사가 만드는 반도체 제조장비 품목을 만드는 공장은 전국에 2091곳, 인천 부평구에는 7곳 있습니다. 반도체 제조 공정의 핵심 단계인 박막 형성 공정에 활용되며 반도체 산업 전반에 걸쳐 사용됩니다. 대면적 박막 증착을 위한 인라인 스퍼터 시스템과 롤투롤 스퍼터, 클러스터 타입의 산화물 및 금속 스퍼터링 시스템을 생산합니다. 또한 Compact Sputter-75S, FlexLab 시스템 시리즈, UHV Sputter 시스템 등 다양한 규격의 마그네트론 스퍼터링 장비를 갖추고 있습니다. 산화물과 금속의 증착뿐만 아니라 TCO 증착, 나노 포일 코팅, 광학 렌즈 코팅을 위한 반응성 스퍼터링 시스템과 이온 빔 스퍼터, E-beam 증발 장치 등 정밀 박막 공정에 필요한 다양한 장비를 다룹니다. 2005년부터 인천 부평구에서 반도체 제조장비를 전문으로 생산해 왔으며, 스퍼터 및 증착 장비 제작을 위한 가공과 조립 설비를 갖추고 있습니다.