(주)랍도스

서울 금천구에 위치한 랍도스는 스핀코터를 만드는 기업입니다. 스핀코터는 반도체나 디스플레이 제조 공정에서 기판 위에 액상 재료를 올린 뒤 빠르게 회전시켜 얇고 균일한 막을 형성하는 장비입니다. 알루미늄과 컨트롤보드 등의 원자재를 받아 정밀가공 및 조립 공정을 거쳐 제품을 생산합니다. 제조 시설은 79.7㎡ 규모이며 2022년부터 현재의 자리에서 공장을 운영해 왔습니다. 이 회사가 만드는 것 가운데 반도체 제조장비 품목은 전국에 2091곳, 서울 금천구 10곳 있습니다. 반도체 제조 공정에 투입되는 장비로, 연구 개발이나 생산 라인에서 박막 코팅 작업이 필요한 반도체 산업 현장에 쓰입니다. 스핀코터는 회전 속도와 가속도를 제어하여 기판 위에 코팅액을 균일하게 도포하는 장비입니다. V1.0LED 모델은 최대 10,000rpm의 속도로 회전하며 0.1% 이내의 정밀도로 동작하고, V1.0GT는 10개의 레시피를 저장하여 다양한 공정 조건에 대응할 수 있습니다. V1.0N 모델은 100개의 레시피를 기억하고 분당 회전수 변화를 세밀하게 조절하여 복잡한 코팅 공정을 수행합니다. 회전 속도와 기판의 무게를 이용한 자연감속 기술을 적용하며, 사용자의 요구에 따라 rpm/sec 감속 등 다양한 구동 방식을 선택할 수 있습니다. 챔버 내부 재질은 스테인리스 스틸을 사용하여 내구성을 확보하고 있으며, 진동 방지 시스템과 압력 센서 및 디스플레이 기능을 갖추고 있습니다. 기판의 크기와 형태에 따라 진공 척, 핀 척, 오링 척 등 13가지 이상의 다양한 척(Chuck)을 맞춤 제작하여 장착할 수 있도록 구성했습니다. 주요 보유 설비로는 진공 펌프와 정밀 제어 시스템이 있으며, 자체적인 조립 및 테스트 환경을 갖추고 있습니다. 2011년 비지케이 설립 및 병합을 시작으로 2014년 현재의 법인으로 전환하였습니다. 2015년 제7세대 초정밀 스핀코터 출시 이후 RS, RF, SC 시리즈 등 다양한 모델을 지속적으로 개발 및 출시해 오고 있습니다.