(주)쓰리에치코퍼레이션

경기 성남시에 있는 (주)쓰리에치코퍼레이션은 반도체 제조 공정에서 필수적인 웨이퍼 고정장치를 만드는 회사입니다. 이 장치는 반도체 웨이퍼를 가공하거나 검사하는 과정에서 웨이퍼가 흔들리지 않도록 단단히 붙잡아 공정의 정확도를 유지하는 역할을 합니다. 금속 재료를 정밀하게 가공하고 이를 알맞게 조립하는 공정을 거쳐 제품을 생산합니다. 2012년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며, 성남일반산업단지 내 제조공장 1,631곳 중 하나로 자리 잡고 있습니다. 반도체 및 전자 산업 분야 전반에 쓰입니다. 주로 웨이퍼를 다루는 박막 측정이나 3D 검사 등 정밀한 공정 장비의 핵심 부품으로 사용되어 제품 생산의 품질을 결정하는 역할을 합니다. 웨이퍼 고정장치 외에도 반도체 생산에 필요한 다양한 솔루션을 제공합니다. 웨이퍼 측정 검사 장비는 얇은 막의 두께를 재거나 3D 형태로 시료를 관찰하여 불량을 찾아내는 기기이며, 본딩 강도 테스트 장비는 웨이퍼와 소재 간의 접합 성능을 확인합니다. 또한 나노 입자 잉크나 랩핑 및 연마재와 같은 소재를 공급하여 미세 가공 공정을 돕습니다. 금속 및 다양한 기능성 재료를 다루는 정밀 가공 기술을 보유하고 있습니다. 설계된 도면과 규격에 맞춰 금속 본체를 깎고 다듬는 가공 공정을 직접 수행하며, 반도체 웨이퍼의 특성에 따라 가해지는 열이나 물리적 압력을 견딜 수 있도록 제작합니다. 미세한 공차를 유지하는 기술을 적용하여 웨이퍼를 안정적으로 고정하고 검사할 수 있도록 합니다. 성남시 중원구 사기막골로에 생산 시설을 갖추고 있습니다. 2001년 쓰리에치테크로 시작해 2009년 현재의 법인명으로 전환하였으며, 2022년 분당구 서현동에 위치한 자사 사옥으로 본사를 이전하였습니다.