(주)엠에이티플러스

경기 안성시에 있는 엠에이티플러스는 반도체와 디스플레이 제조 공정에서 발생하는 유해가스를 제거하는 가스 스크러버와 대기환경 설비를 만드는 기업입니다. 스크러버는 공정 과정에서 배출되는 가스를 정화하여 작업장의 안전을 지키고 환경 오염을 방지하는 필수적인 환경안전설비입니다. 철판과 각종 전자부품, 이온섬유 등을 주요 원자재로 사용하여 정밀가공 및 조립 공정을 거쳐 설비를 제작합니다. 1998년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며, 제조시설 면적은 1,977.2㎡입니다. 같은 품목을 생산하는 공장 180곳 가운데 제조시설 넓이는 상위 25%에 해당합니다. 이 회사가 만드는 것 가운데 진공·챔버·세정 품목은 전국에 313곳, 경기 안성시에 28곳 있습니다. 반도체와 디스플레이 생산 라인에서 발생하는 독성 가스와 오염 물질을 정화하는 데 사용되어 공정의 안전성을 높이는 환경 설비 분야로 나갑니다. 가스 스크러버는 반도체 제조 공정 중 발생하는 가스를 정화하는 핵심 설비입니다. 무염 촉매 연소 산화기인 FCTO는 열 산화와 습식 기술을 결합하여 가연성 가스 및 VOC를 효율적으로 처리합니다. 이온 교환 스크러버는 이온 교환 섬유를 사용하여 악취나 산성 및 알칼리성 가스를 흡착 방식으로 제거하는 장비입니다. 열 산화 방식과 습식 기술을 결합하거나 플라즈마를 활용하는 등 가스 특성에 맞춘 정화 공법을 적용합니다. 금속 가공 기술을 바탕으로 고밀도 기밀 유지가 가능한 회전 밸브형 RTO 시스템 등을 직접 설계 및 제작합니다. 내부에는 벌집 구조의 세라믹 미디어를 사용하여 열 회수율을 95% 이상으로 끌어올리는 기술을 사용합니다. 주요 설비로 대형 무염 촉매 연소 산화기 제조 라인을 갖추고 있으며, 1995년 설립 이후 30년간 환경 설비 개발에 집중해 왔습니다. 2011년 FCTO 기술 개발을 시작으로 2013년에는 EPI 공정 장비를 개발했습니다. 2024년에는 장비 누적 공급 8,000대를 달성하며 생산 규모를 지속적으로 확대하고 있습니다.