(주)진성큐엔에스

경기 화성시에 위치한 (주)진성큐엔에스는 반도체와 디스플레이, 태양광 발전 설비 제조 공정에 필수적인 쿼츠(Quartz)와 세라믹 소재의 부품을 가공하는 전문 기업입니다. 쿼츠는 불순물이 극히 적은 고순도 규산 유리로, 고온에서도 견디는 내열성과 화학적 안정성이 뛰어나 웨이퍼 이송 도구나 공정용 부품으로 주로 사용됩니다. 쿼츠와 세라믹 원자재를 고온 용융 및 정밀 가공 공정을 거쳐 반도체 제조 장비 등에 적합한 부품으로 생산합니다. 2011년부터 이 자리에서 공장을 운영해 왔으며 2017년 화성시 정남면으로 신규 공장을 확장 이전하였습니다. 제조 시설은 2144.6㎡ 규모의 건축물에서 운영되고 있습니다. 주로 반도체와 디스플레이, 태양광 전지 제조 공정의 산화 및 확산, 식각 설비에 들어가는 소모성 부품과 장비 구성품으로 납품됩니다. 반도체 공정용 쿼츠 제품은 웨이퍼를 담는 보트(Boat)와 튜브(Tube), 식각 공정 시 웨이퍼를 고정하는 링(Ring)과 페데스탈(Pedestal) 등이 있으며 이는 공정 중 웨이퍼를 안전하게 지지하고 보호하는 역할을 합니다. 열처리 장비용 히터인 튜브 히터와 플레이트 히터는 공정 온도를 제어하는 설비에 장착됩니다. 또한 글라스 세라믹인 넥스트레마와 제로듀어는 열팽창 계수가 거의 없어 정밀 광학 기기와 우주 기술 분야에 활용되며, 알루미나와 탄화규소(SiC) 소재의 세라믹 부품은 내마모성과 내식성이 강해 고온 환경의 공정 장비 내부 부품으로 쓰입니다. 석영 유리와 세라믹 소재를 바탕으로 고객이 요구하는 설계 도면에 따라 소량 다품종 주문 생산을 수행합니다. 쿼츠 가공을 위해 절단 및 연마 기술을 활용하며 반도체 장비 프로세스에 최적화된 형상을 구현합니다. 단결정 질화물(Nitrides) 성장을 위한 장비 시스템을 자체 개발하는 등 반도체 소재의 공정 설비 제작 기술을 보유하고 있으며, 화학 기상 증착 장치나 웨이퍼 회전 장치 등 열처리 시스템을 최적화하는 기구 설계 기술을 다룹니다. 주요 설비로는 3차원 측정기를 비롯해 튜브 커팅기, 워터젯, 머시닝 센터(MCT), 열처리로 등을 보유하고 있습니다. 2008년 법인 설립 이후 2011년 공장 등록 및 생산 가동을 시작하였으며, 2014년 대용량 단결정 성장 장비 개발, 2017년 화성시 정남면 공장 확장이전, 2018년 독일 쇼트(SCHOTT)사와 업무 협약을 체결하였습니다.