(주)로체시스템즈

경기 용인시에 위치한 로체시스템즈는 반도체 및 디스플레이 제조 공정에 필요한 산업용 로봇과 자동화 장비를 만드는 기업입니다. 이 장비들은 반도체 웨이퍼나 액정 유리를 공정 장비 사이에서 안전하게 옮기거나 적재하는 역할을 수행하며, 제조 현장의 생산성을 높이는 핵심 설비입니다. 산업용 자재를 원재료로 받아 정밀 가공과 조립 공정을 거쳐 최종 제품을 생산합니다. 2019년부터 완장일반산업단지에 자리한 제조 시설은 건축면적 23,942.8㎡, 용지면적 24,761㎡, 제조시설면적 14,506.5㎡ 규모를 갖추고 있습니다. 산업용로봇·자동화 공장 1,302곳 가운데 제조시설 넓이는 상위 10%에 해당합니다. 이 회사가 만드는 것 가운데 산업용로봇·자동화 품목은 전국에 3,095곳, 경기 용인시에 43곳 있습니다. 로봇·자동화 기술을 바탕으로 반도체와 디스플레이 생산 라인의 자동화를 지원하며, 자동차·모빌리티 및 각종 기계·산업장비 분야의 제조 효율을 높이는 데 쓰입니다. 300mm 웨이퍼 EFEM은 반도체 공정 장비로 웨이퍼를 반송하는 장비로, ±0.1mm 이내의 정밀한 반복 정밀도를 구현하여 청정 환경을 유지합니다. N2 웨이퍼 스토커는 질소 분위기 내에서 웨이퍼를 보관하는 장비이며, 6인치 레티클 EFEM은 반도체 노광 공정용 마스크를 이송하는 데 사용됩니다. 그 외에도 니어 툴 버퍼와 N2 퍼지 어댑터 등을 통해 반도체 생산 라인의 물류 흐름을 관리합니다. 반도체 제조 장비의 핵심인 정밀 이송 기술을 바탕으로 설계부터 가공, 조립, 테스트까지의 과정을 수행합니다. 웨이퍼 이송을 위한 로봇 메커니즘을 자체적으로 다루며, 자동화 인터페이스를 통해 OHT, AGV, AMR 등 다양한 무인 반송 시스템과 연동되도록 제작합니다. 사용자 요청에 따라 정밀 정렬 장치인 얼라이너나 보관함 등의 사양을 맞춤형으로 통합하는 기술을 보유하고 있습니다. 로체시스템즈는 1997년 설립 이후 1998년 LCD 글라스 인덱서 개발을 시작으로 2000년 반도체 300mm 이송 장치(EFEM)를 개발하였습니다. 2004년에는 로 7세대 LCD 이송 장비를 개발했으며, 2015년에는 베트남 현지 법인을 설립하였습니다. 이후 2020년 용인 완장산업단지로 신사옥을 이전하여 현재에 이르고 있습니다.