(주)비아트론

경기 수원시에 있는 비아트론은 반도체와 디스플레이 제조 공정에 필요한 열처리 장비 및 제조용 기계 장치를 전문으로 만드는 기업입니다. 가열로와 자동이동 로봇장치 등을 주요 원자재로 사용하여 열처리 및 조립 공정을 거쳐 제품을 제작합니다. 제조 시설은 용지면적 7353㎡, 건축면적 13085.6㎡, 제조시설면적 9309.5㎡ 규모를 갖추고 있으며 2013년부터 현재 위치에서 공장을 운영해 왔습니다. 이 회사가 만드는 것 가운데 일반 반도체 품목은 전국에 344곳, 경기 수원시에 7곳 있습니다. 반도체 및 전자·IT기기 제조 산업의 공정 라인에 도입되어 정밀한 박막 증착과 기판 처리 등 핵심적인 공정 장비로 쓰입니다. 인라인 RTA는 수평으로 유리기판을 이동시키며 고온 영역에서 빠른 속도로 열처리를 수행하는 장비입니다. 배치 퍼니스는 수직 형태의 시스템으로 다수의 유리기판을 일괄적으로 넣어 저온에서 처리할 때 사용합니다. RTCVD는 대면적 면발광 레이저를 활용해 반도체 에피막을 증착하는 장비이며 하이브리드 본더는 미세 범프 없이 칩과 웨이퍼를 직접 접합하는 정밀 시스템입니다. 유리기판 및 반도체 웨이퍼를 대상으로 열처리와 증착, 본딩 등 다양한 공법을 적용합니다. 고온 열처리 시스템부터 레이저를 이용한 본딩 및 솔더링 공정 기술을 보유하고 있으며, 대면적 기판의 정밀한 온도 제어와 신속한 처리가 가능한 공정 설계를 직접 수행합니다. 2013년 수원산업3단지로 본사와 공장을 신축 이전하였으며, 이후 자회사인 비아트론시스템 등을 설립하며 사업 영역을 확장해 왔습니다. 현재 2곳의 공장을 운영하고 있으며 고집적 3D 반도체 웨이퍼 공정 기술 및 차세대 하이브리드 본딩 기술 개발을 위한 연구를 지속하고 있습니다.