(주)마이크로투나노

경기도 용인시에 위치한 마이크로투나노는 반도체 검사 공정에 필수적인 프로브 카드와 파운드리 서비스를 제조합니다. 프로브 카드는 반도체의 정상적인 동작 여부를 확인하기 위해 웨이퍼 위의 칩과 테스트 장비를 전기적으로 연결해 주는 핵심 장치입니다. 이 회사는 MEMS 기술을 바탕으로 웨이퍼, 세라믹 기판, PCB, 각종 기구물을 공급받아 조립 및 정밀 가공 공정을 거쳐 제품을 생산합니다. 2020년부터 용인시 덕성산단 내 현 사업장에서 공장을 운영하고 있으며 제조시설 면적은 3356.6㎡입니다. 이 회사가 만드는 것 가운데 웨이퍼·기판 품목은 전국에 147곳, 경기 용인시 3곳 있습니다. 생산된 제품은 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 단위의 성능을 테스트하는 장비에 탑재되어 활용됩니다. 주력 제품인 프로브 카드는 HBM, DRAM, NAND와 같은 고집적 메모리 반도체의 회로가 정상인지 확인하는 테스트 장비용 부품입니다. 압력 센서는 자동차의 브레이크 시스템인 ABS나 ESC 작동 시 가해지는 압력을 측정하며, 주사 탐침은 미세한 홀을 통해 약물을 주입하거나 표면을 정밀하게 탐침할 때 쓰입니다. MEMS 기반의 미세 소자 설계 및 가공 기술을 보유하고 있으며, 설계부터 시제품 제작, 품질 관리에 이르는 전 공정을 내재화하여 수행합니다. 미세 공정에 최적화된 고정밀 핀 기술과 함께, 고온이나 저온 같은 극한 환경에서도 신호 품질을 유지하는 신뢰성 설계 기술을 적용합니다. 2000년 엠투엔으로 시작하여 2022년 현재의 사명으로 변경했습니다. 2020년 용인 신사옥으로 이전하였으며, 경기도 화성시에 지사를 운영하고 있습니다. 자체 연구 조직을 통해 반도체 및 센서 분야의 차세대 공정 기술을 지속적으로 개발 중입니다.