(주)세미로드

경기 파주시에 위치한 세미로드는 반도체와 디스플레이 공정에서 핵심적인 역할을 하는 농도계를 개발하고 실리콘 웨이퍼 파운드리 서비스를 제공합니다. 반도체 소자와 디스플레이 기기의 정밀한 제조를 위해 필수적인 계측 장비와 막질 증착 공정을 전문으로 다루는 기업입니다. 세미로드는 실리콘 웨이퍼와 각종 가스 등을 원자재로 사용하여 정밀 조립 및 박막 증착 공정을 수행합니다. 2013년부터 공장을 운영하고 있으며 제조 시설 면적은 668.6㎡ 규모입니다. 이 회사가 만드는 것 가운데 반도체소자·집적회로 품목은 전국에 200곳, 경기 파주시 4곳 있습니다. 생산된 농도계와 파운드리 서비스는 반도체 및 전자·IT기기 산업의 제조 라인에 투입되어 공정의 정밀도를 높이는 데 쓰입니다. 3성분 농도계는 용액 속의 용질 양을 측정하는 장비로, 디스플레이 현상 공정이나 반도체 슬러리 혼합 설비에서 성분을 정밀하게 제어할 때 사용됩니다. 실리콘 웨이퍼 파운드리 서비스는 2인치부터 12인치까지 다양한 사이즈의 웨이퍼 위에 산화막이나 금속막 등을 증착하여 고객이 요구하는 맞춤형 막질을 형성하는 기술입니다. 다양한 종류의 박막을 코팅하는 기술을 보유하고 있으며, Oxide, TEOS, Metal, Nitride, Poly 등 여러 재질의 막질 증착이 가능합니다. 센서의 조합을 통해 다성분 용액의 농도를 변환 및 측정하는 독자적인 기술을 활용하며, 웨이퍼의 박막 두께를 세밀하게 제어하는 공정을 직접 수행합니다. 2인치부터 12인치까지의 실리콘 웨이퍼를 취급하며 18인치 웨이퍼 재고를 확보하고 있습니다. 2007년부터 반도체와 LCD 산업용 농도계를 연구 개발하며 국산화를 시작했고, 이후 다성분 농도계를 개발하는 등 지속적인 연구 활동을 이어오고 있습니다.